这番话后，原本悬着的心总算彻底放下，证明逐光国产极紫外光刻机主体研发成功。 标志着国内终于拥有了，百分之百国产化的，高端极紫外光刻机。 不过大家并没有在这个时候鼓掌庆祝，反倒是强压住心中激动，继续听后面的其他流片数据项目结果。 1